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本发明公开了一种基于压电偏转镜的小型化原子干涉重力仪振动噪声补偿方法及装置，该方法包括：步骤S1：振动噪声测量，获取拉曼光反射镜三维振动信号S(θx，θy，z，t)；步骤S2：振动噪声补偿；根据步骤S1得到的反射镜三维振动信号及压电偏转镜的响应函数，给压电偏转镜施加反馈电压，用偏摆镜的运动实时补偿反射镜振动；步骤S3：振动噪声补偿效果评估；根据原子干涉仪输出的拉曼激光相位‑原子跃迁概率信号的稳定性评估压电偏转镜使用前和使用后的振动噪声补偿效果，并为所施加的反馈电压提供修正参考。该装置用来实施上述
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113219546 B
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202110456604.7 G01H 9/00 (2006.01)
(22)申请日 2
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