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本发明公开了一种在球全表面沉积薄膜的方法及装置，包括步骤：提供一轨道形夹具并将夹具置于所述沉积腔中，其中镀膜用球位于所述轨道形夹具的轨道中，且所述镀膜用球的表面区域暴露于所述轨道外；转动所述轨道形夹具，其中所述镀膜用球通过旋转而在所述轨道上移动，并改变暴露于所述轨道外的表面区域；向沉积腔内提供镀膜粒子；镀膜粒子沉积在镀膜用球暴露于所述轨道外的表面区域。解决了现有技术中的由于对球进行固定而导致球面局部被覆盖而无法使整个球全表面完整沉积薄膜材料的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113215543 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110222626.7
(22)申请日 2021.02.26
(71)申请人 深圳大学
地址 51
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