一种ArF光刻胶成膜树脂及其制备方法和光刻胶组合物.pdfVIP

一种ArF光刻胶成膜树脂及其制备方法和光刻胶组合物.pdf

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本发明公开了一种ArF光刻胶成膜树脂及其制备方法和光刻胶组合物,包含如式I所示无规共聚物结构:其中n、m、x、y和z为单体的摩尔占比,0<n≤0.3,0<m≤0.5,0<x≤0.2,0<y≤0.8,0<z≤0.1,n+m+x+y+z=1;R1、R2、R3、R4和R5为H、CH3或CH2CH3。一种光刻胶组合物,包括上述成膜树脂5~30%,其余为有机溶剂。本发明将光致产酸剂和酸扩散抑制剂同时引入到成膜树脂中,能很好的控制光致产酸剂和酸扩散抑制剂均匀地分布,从而提高光刻胶的灵敏度(≤42mJ/cm2

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113214429 B (45)授权公告日 2022.04.12 (21)申请号 202110466795.5 C08F 220/32 (2006.01)

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