一种电感耦合等离子体装置.pdfVIP

一种电感耦合等离子体装置.pdf

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一种电感耦合等离子体装置，包括：反应腔主体，所述反应腔主体的顶壁包括介质窗；位于介质窗顶部的电感线圈；位于介质窗顶部的若干分立的磁性元件，所述磁性元件至少被部分圈的电感线圈包围且与电感线圈分立。所述电感耦合等离子体装置能够调节反应腔主体内部的等离子体密度分度且结构简单。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113223916 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110643823.6 (22)申请日 2021.06.09 (71)申请人上海邦芯半导体科技有限公司

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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