一种化学机械研磨抛光垫整修器及其制备方法.pdfVIP

一种化学机械研磨抛光垫整修器及其制备方法.pdf

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本发明提供一种化学机械研磨抛光垫整修器及其制备方法，所述抛光垫整修器包括基底以及连接于所述基底表面的至少一个修整磨粒，所述修整磨粒为所述基底材料直接加工得到。所述抛光垫整修器硬度高、耐磨、耐腐蚀，且研磨面凸起的磨粒可以通过加工工艺有效控制，从而保证整修器的修整效果。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113199400 A (43)申请公布日 2021.08.03 (21)申请号 202110573683.X (22)申请日 2021.05.25 (71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司

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