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2023-06-16 发布于四川
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一种莫尔干涉光对玻璃表面缺陷检测的检测装置.pdf

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本发明公开了一种莫尔干涉光对玻璃表面缺陷检测的检测装置，莫尔干涉光源与CCD相机位于玻璃载物台的同侧,光学镜头位于莫尔干涉光源与CCD相机的中间，莫尔干涉光源的光轴垂直于玻璃载物台，CCD相机、光学镜头的光心与莫尔干涉光源的光心位于同一轴线上。本发明：(1)具有很高的灵敏度，可以实现对被测玻璃表面缺陷进行放大的莫尔干涉图像，可应用于批量生产的玻璃缺陷检测，相比于传统直接通过CCD拍摄的方式，准确性得到了明显的提升。(2)本发明根据实际需求采用了单色滤光单元，对LED光源发出的光进行波长筛选，形成

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113237898 A (43)申请公布日 2021.08.10 (21)申请号 202110558683.2 (22)申请日 2021.05.21 (71)申请人七海测量技术（深圳）有限公司

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