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一种表面微沟槽的加工方法、微细电火花加工装置，首先在第一金属箔上形成阵列沟槽通道，将第一金属箔与第二金属箔交替叠层组合形成初始叠层电极，第二金属箔的电火花加工损耗速率小于第一金属箔的电火花加工损耗速率，按照预设的路径对初始叠层电极进行加工形成叠层电极坯料，将叠层电极坯料固定在储气装置中，并由储气装置的进气口输入气体，气体由所述储气装置的出气口和阵列沟槽通道输出，将叠层电极坯料进行多轮固定深度的电火花加工，以使叠层电极工作端面逐渐损耗形成预设的轮廓结构，然后将其用于微细电火花加工，从而实现深窄微沟
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113199095 B
(45)授权公告日 2022.07.26
(21)申请号 202110590247.3 B23H 11/00 (2006.01)
(22)申请日 2021.05
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