- 1、本文档共10页,其中可免费阅读9页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种准分子激光器的光路系统和具有周期性微纳结构的聚酰亚胺薄膜的制备方法,该准分子激光器的光路系统包括用于发出激光的准分子激光器以及沿激光的光路导通方向依次布置的能量衰减器、匀光器和样品平台,能量衰减器用于调节激光的能量大小;匀光器用于均匀分布从能量衰减器内射出的激光的能量;样品平台用于承载待激光辐照的样品,样品放置于样品平台朝向匀光器的一侧。本发明的准分子激光器的光路系统能够利用激光诱导材料的周期性表面结构,确定特定的参数范围后能使准分子激光辐照到聚酰亚胺薄膜表面,并在聚酰亚胺薄膜表面
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113210871 B
(45)授权公告日 2022.06.17
(21)申请号 202110473265.3 B23K 26/064 (2014.01)
文档评论(0)