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本发明公开了一种精密控温冷却系统及方法，该系统包括：底板及多个冷却单元；多个冷却单元设置于底板上或镶嵌在冷板中；冷却单元中设置有管道；管道设置有进口以及出口，用于冷却介质流入或流出管道；底板用于安装发热元器件。该方法包括：同一底板上设置多个冷却单元；同一底板通过多个冷却单元进行冷却。本发明的激光精密控温冷却系统及方法，省略了现有技术中的热管，温度控制更精准、更快速；通过多个冷却单元对底板进行冷却，温度控制更精准。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113237254 A
(43)申请公布日 2021.08.10
(21)申请号 202110428631.3
(22)申请日 2021.04.21
(71)申请人 无锡
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