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本发明公开了一种气体发生装置,包括依次连接的备气单元、制气单元和供气单元,所述备气单元包括相互连通的流体设备和净化设备,所述制气单元包括气体分离装置、第一管路和第二管路,所述第一管路和所述第二管路均与所述气体分离装置连接,所述气体分离装置与所述净化设备连接,所述供气单元包括气体混合器,所述第一管路和所述第二管路还与所述气体混合器连接,所述第一管路上设有第一阀门,所述第二管路上设有第二阀门。本发明针对现有气体制备设备结构复杂、需要消耗物资、气体组成难以调节等问题提出新颖的设计方案,结构简洁,能够稳
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113230979 A
(43)申请公布日 2021.08.10
(21)申请号 202110500242.7
(22)申请日 2021.05.08
(71)申请人 杭州格森赫特科技有限公司
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