一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法.pdfVIP

一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法.pdf

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本发明提供一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法。通过在微环谐振腔阵列中插入不同数目的待测器件，经过光谱测量、参数提取、线性拟合等步骤得到单个待测器件的损耗。该方法相比传统的光损耗截距测量法可以减小芯片面积，提高测量精度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113203554 B (45)授权公告日 2022.03.18 (21)申请号 202110472474.6 审查员杨慧 (22)申请日 2021.04.29

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