附着物除去方法和成膜方法.pdfVIP

附着物除去方法和成膜方法.pdf

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提供能够在不拆解腔室的状态下将附着在腔室的内表面或者与腔室连接的配管的内表面的含硫的附着物除去的附着物除去方法和成膜方法。使附着在腔室(10)的内表面以及与腔室(10)连接的排气用配管(15)的内表面中的至少一者的含硫的附着物，与含有含氢化合物气体的清洁气体反应，由此将该附着物除去。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113228235 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 201980083535.0 (74)专利代理机构北京市中咨律师事务所

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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