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本发明关注一种制造器件的方法，所述器件包括在有用腔上延伸的膜，所述方法包括：·提供通用结构，所述通用结构包括在主平面中延伸并被布置在支持基底的第一面上的表面层，所述支持基底包括在表面层下方开口的基本腔以及界定各个基本腔的隔离体，所述隔离体具有形成所述支持基底的第一面的全部或部分的上表面；·限定一组相邻的基本腔，使得所述一组基本腔的轮廓在所述主平面中对应于所述有用腔的轮廓；·移除位于所述一组基本腔的轮廓内的所述隔离体，以便形成所述有用腔，并且释放被布置在所述有用腔上方并形成所述膜的所述表面层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113226978 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 201980084624.7 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限
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