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提高光电转换效率的PERC电池的制作方法和电池.pdfVIP

提高光电转换效率的PERC电池的制作方法和电池.pdf

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    本发明适用于太阳能电池技术领域，提供了一种提高光电转换效率的PERC电池的制作方法和电池。制作方法包括：对电池基片进行钝化前处理，以形成待沉积钝化膜的电池基片；在待沉积钝化膜的电池基片上沉积氧化铝膜，氧化铝膜的沉积温度的范围为260℃‑290℃；对沉积了氧化铝膜的电池基片进行钝化后处理，以形成太阳能电池。如此，可以提高氧化铝膜中负电荷的密度，增强钝化效果，从而提升光电转换效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113241389 A (43)申请公布日 2021.08.10 (21)申请号 202110448526.6 H01L 31/0216 (2014.01) (22)申请日

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