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本发明公开了一种检测BARC热板烘烤形成的挥发物的方法，用于对第一种BARC材料在热板烘烤中形成的第一挥发物进行监控，包括：步骤一、提供m片形成有第一种BARC材料的第一种监控片，将各第一种监控片放置在热板烘烤腔体的热板上进行第一温度的第一次烘烤；步骤二、提供n片形成有第二种BARC材料的第二种监控片，将各第二监控片放置在进行过步骤一的热板烘烤腔体的热板上并进行第二温度的第二次烘烤；步骤三、在各第二种监控片上涂布光刻胶以将缺陷颗粒放大；步骤四、对放大后的缺陷颗粒进行检测以实现对第一挥发物的检测。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113223937 B
(45)授权公告日 2022.08.16
(21)申请号 202110428514.7 H01L 21/66 (2006.01)
(22)申请日 2021.04
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