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本发明是一种基片缺陷检测装置与方法,基片缺陷检测装置包括支撑框架、照明与拍摄模块、承片模块和控制系统;支撑框架包含半球壳、底座和连接段,半球壳通过连接段设置在底座上;连接段上设置有送片窗口,半球壳上均匀设置有多个安装孔,各安装孔的轴线设置为穿过半球壳的球心;承片模块安装在底座上,用于稳定承载待检测基片;照明与拍摄模块能够实现对承片模块上待检测基片的照明与拍摄;控制系统用于照明与拍摄模块和承片模块的信号采集、数据处理以及联动控制。本发明基于散射成像基本原理,采用全方位多场照明与拍摄的方式,进行基片
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113218961 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110430767.8
(22)申请日 2021.04.21
(71)申请人 中国科学院光电技术研究所
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