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本文描述的实施方式涉及封装的纳米结构光学装置和通过非对称选择性物理气相沉积(PVD)来封装这样的装置的光栅的方法。在一些实施方式中,用于封装光学装置光栅的方法包括:可同时或顺序地执行的第一PVD工艺和第二PVD工艺。第一PVD工艺可以不垂直于光栅的基板的第一角度提供材料的第一流。第二PVD工艺可以不垂直于光栅的基板的第二角度提供材料的第二流。第一PVD工艺和第二PVD工艺的组合在光栅上方形成封装层,并且在光栅的相邻鳍片之间形成一个或多个气隙。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113242990 A
(43)申请公布日 2021.08.10
(21)申请号 201980083748.3 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理
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