操作传输系统的方法.pdfVIP

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一种操作传输系统的方法包括：侦测晶圆输送载具的异常状况；将晶圆输送载具沿着轨道送至与轨道相邻的诊断站；以及通过使用诊断站来检查晶圆输送载具的性质，如晶圆输送载具的速度、重量、声频、噪音位准、温度、及影像。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113257726 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 202010839070.1 (22)申请日 2020.08.19 (30)优先权数据

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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