磁性隧道结包括具有固有各向异性的自由层的TMR传感器.pdfVIP

磁性隧道结包括具有固有各向异性的自由层的TMR传感器.pdf

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本公开的实施方案整体涉及磁性隧道结(MTJ)的大场范围TMR传感器,这些MTJ包括具有固有各向异性的自由层。在一个实施方案中,惠斯通配置中的基于隧道磁阻(TMR)的磁性传感器包括至少一个MTJ。该MTJ包括具有固有各向异性的自由层,该固有各向异性通过与法线成高倾斜角度沉积而产生。该自由层内的磁畴形成还可由与该自由层的该固有各向异性成一定角度倾斜的钉扎层、由硬偏置元件、由形状各向异性或它们的组合来控制。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113227814 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202080007006.5 C ·凯撒  (22)申请日 2020.03.21

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