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具备：具有试样保持面的绝缘基体(1)；和与绝缘基体(1)接合的支承体(2)，设置于绝缘基体(1)的第1贯通孔(9)与设置于支承体(2)的第2贯通孔(7)连通并构成气体流入孔。在第2贯通孔(7)设置多孔质构件(5)。第2贯通孔(7)之中面对绝缘基体1的一侧的开口(基体侧开口)的开口直径比第1贯通孔(9)的直径大，第2贯通孔(7)的开口和吸附电极(6)在与试样保持面平行的方向上错开配置。即，在俯视下，成为吸附电极(6)和第2贯通孔(7)不重复的结构。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113228496 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202080007377.3 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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