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本发明涉及一种对超声波装置的精度下降进行抑制的超声波装置以及超声波传感器。本发明的超声波装置(1)具备:基板(150);振动板(140),其被设置在基板(150)上,且具有通过进行振动而生成超声波的一个以上的振动元件(124),振动板(140)具有可动部(120)和固定部(110),所述可动部(120)被设置有振动元件(124)且随着振动元件(124)的振动而进行振动,所述固定部(110)被固定在所述基板(150)上,超声波装置(1)以如下方式被构成,即,基于从可动部(120)发送并由可动部(1
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113219467 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110061476.6
(22)申请日 2021.01.18
(30)优先权数据
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