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基板干燥装置.pdfVIP

基板干燥装置.pdf

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    本发明提供一种使基板确实地干燥的基板干燥装置。其中一实施例为基板干燥装置。此基板干燥装置包括：握持部，握持角型基板的外周部；基板用喷嘴，对由握持部所握持的基板喷附气体而使基板干燥；以及握持部用喷嘴，对握持部喷附气体而使基板干燥。基板用喷嘴能够相对于基板而向第一方向相对移动，且能够朝向基板而向第一方向喷出气体。握持部用喷嘴能够相对于基板而向第一方向相对移动，且向与第一方向相交的第二方向喷出气体。握持部用喷嘴相对于第一方向而配设于基板用喷嘴的后方。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113257709 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 202011482878.5 (22)申请日 2020.12.16 (30)优先权数据 2020-0205

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