一种VCSEL芯片及其制造方法.pdfVIP

一种VCSEL芯片及其制造方法.pdf

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本发明涉及一种VCSEL芯片及其制造方法，利用透明导电材料平铺在整个光窗平台上表面形成抗反射透明导电层，达到全面接触的效果，再镀上所需的金属电极，达到降低接触电阻的目的，从而提供更好的光学性质，降低高频阻抗，提升高频特性，减少热效应，并增加可靠度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113241582 A (43)申请公布日 2021.08.10 (21)申请号 202110417851.6 (22)申请日 2021.04.19 (71)申请人深圳

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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