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一种制备像素化太赫兹光谱传感芯片及其制备方法。本发明公开了一种像素化太赫兹光谱传感芯片，包括16个工作频点各不相同的像素，各像素由结构相同、几何尺寸不同的金属平面谐振器阵列组成。本发明公开了上述光谱传感芯片的制作方法，包括基片清洗；双层光刻胶旋涂；紫外曝光和显影；金属薄膜沉积和剥离。本发明还公开了上述光谱传感芯片用于生物分子太赫兹光谱测试的方法，包括将宽带太赫兹源照射在加载待测样品的芯片上，通过太赫兹相机捕获图像信息并提取太赫兹光谱信息。本发明实现了在太赫兹频段宽频带、高灵敏的光谱检测。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113237846 A
(43)申请公布日 2021.08.10
(21)申请号 202110490702.2
(22)申请日 2021.05.06
(71)申请人 南京
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