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2023-06-16 发布于四川
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超薄玻璃掩膜板以及蒸镀方法.pdf

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本发明提供了超薄玻璃掩膜板以及蒸镀方法，其中，超薄玻璃掩膜板包括：一掩膜板骨架，其中的骨架合围形成若干个供掩膜安装的留空区域；以及若干超薄玻璃掩膜，分别固定于留空区域，每个超薄玻璃掩膜包括一超薄玻璃本体，基于预设蒸镀图案在超薄玻璃本体的唯一的基板区域沿厚度方向形成贯穿超薄玻璃本体的若干贯通孔，每个贯通孔的内壁与超薄玻璃本体的表面之间形成倒角，基板区域露出于留空区域，当进行蒸镀时，超薄玻璃掩膜的贯通孔供蒸镀介质通过超薄玻璃本体到达蒸镀对象。本发明能够通过超薄玻璃掩膜板替代传统金属掩膜，大大降低了掩

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113215530 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110649423.6 (22)申请日 2021.06.10 (71)申请人蒋承忠地址浙江省

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