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2023-06-16 发布于四川
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用于检测和调试设备成像光路的工装、检测系统和方法.pdf

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本发明公开一种用于检测和调试直写光刻设备成像光路的工装、检测和调试直写光刻设备成像光路的系统以及方法，其中，用于检测和调试直写光刻设备成像光路的工装，包括背光组件，背光组件包括光源、光传输单元和容纳筒，容纳筒上设置有出光孔，光源和光传输单元均设置在容纳筒内，光传输单元用于将光源的出射光传输至出光孔处；星点板，星点板设置在出光孔处，星点板上设置有透光孔阵列，光源的出射光照射到星点板上；连接组件，连接组件用于连接背光组件和待测成像光路，以使得透过星点板的光线通过待测成像光路成像。本发明实施例的用于检

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113204176 A (43)申请公布日 2021.08.03 (21)申请号 202110458658.7 (22)申请日 2021.04.27 (71)申请人合肥芯碁微电子装备股份有限公司

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