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2023-06-16 发布于四川
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本发明涉及一种激光加工应用的F110三点消色差远心扫描激光加工物镜，其中物镜系统包括1064nm激光入射方向依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜，其中，第一透镜为双凹透镜；第二透镜为弯月透镜，曲面向着光线的出射方向；第三透镜为双凸透镜；第四透镜为双凸透镜；第五透镜为双凹透镜。本光学系统的焦距为110mm，数值孔径为0.18，入瞳直径为20mm。本发明对激光加工系统的635nm、485nm以及1064nm三个波长消色差，消除色差的干扰，可对70mm*70mm，扫描角度±12.

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113238364 A (43)申请公布日 2021.08.10 (21)申请号 202110526343.1 B23K 26/06 (2014.01) (22)申请日 2

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