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本发明涉及一种激光加工应用的F110三点消色差远心扫描激光加工物镜,其中物镜系统包括1064nm激光入射方向依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜,其中,第一透镜为双凹透镜;第二透镜为弯月透镜,曲面向着光线的出射方向;第三透镜为双凸透镜;第四透镜为双凸透镜;第五透镜为双凹透镜。本光学系统的焦距为110mm,数值孔径为0.18,入瞳直径为20mm。本发明对激光加工系统的635nm、485nm以及1064nm三个波长消色差,消除色差的干扰,可对70mm*70mm,扫描角度±12.
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113238364 A
(43)申请公布日 2021.08.10
(21)申请号 202110526343.1 B23K 26/06 (2014.01)
(22)申请日 2
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