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曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法及曝光方法.pdfVIP

曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法及曝光方法.pdf

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    一种曝光装置，借助投影光学系统向基板(P)照射照明光，相对于照明光相对地驱动基板(P)，分别对玻璃基板(P)的多个区域进行扫描曝光，该曝光装置包括：基板保持件(68)，其对基板(P)的第1区域进行悬浮支承；基板载具(70)，其保持由基板保持件(68)悬浮支承的玻璃基板(P)；X粗调台(40)，其对基板保持件(68)进行驱动；X音圈马达(84x)和Y音圈马达(84y)，二者对基板载具(70)进行驱动；以及控制装置，其在扫描曝光中对X粗调台(40)、X音圈马达(84x)等进行控制，以分别驱动基板保持

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113204177 A (43)申请公布日 2021.08.03 (21)申请号 202110472738.8 (22)申请日 2016.03.30 (30)优先权数据

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