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本发明公开了一种致密高纯锶钽氧氮化物陶瓷的制备方法,包括将锶钽氧氮化物陶瓷粉体与乙醇混合均匀,球磨后干燥并过筛,得到预烧结粉体,将预烧结粉体在加压、保护气氛或者在加压、真空条件下进行放电等离子烧结,烧结温度为1300℃~1400℃,经冷却,得到陶瓷初烧结体,将陶瓷初烧结体在氨气气氛、无压力条件下进行二次烧结,降温冷却后,得到致密高纯锶钽氧氮化物陶瓷。本发明的制备方法时间短,制得的致密高纯锶钽氧氮化物陶瓷具有高纯度、高密度、高介电常数、低介电损耗的优点,有广泛的应用前景。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113233901 B
(45)授权公告日 2022.05.31
(21)申请号 202110745116.8 (56)对比文件
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