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本发明提出一种基于形状记忆合金薄膜的无线自驱动微型爬行机器人，包括至少三层贴合的薄膜；其中下层薄膜和上层薄膜分布均包括形状记忆合金薄膜区域和导电的应力材料薄膜区域；中层薄膜为绝缘的非金属薄膜；形状记忆合金与应力材料的热膨胀系数不同；下层薄膜和上层薄膜不同材料薄膜区域对应叠放，且形成具有频率选择性的电容‑电感谐振电路。本发明提出的微型爬行机器人基于形状记忆合金薄膜，退火无需模具，在射频磁场中能够自主进行驱动，集结构、无线能源接收和驱动变形于一体；可进行小尺寸批量化制造，生产成本低，能够广泛用于介入
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113232736 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202110595956.0 (56)对比文件
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