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2023-06-16 发布于四川
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一种空间约束双束激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法.pdf

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一种空间约束双束激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法，所述方法包括以下步骤：1)，将待清洗基体粘结在三维移动平台上，移动三维移动平台使所述待清洗基板位于激光脉冲聚焦点及腔体出口处；2)，利用第一脉冲激光束和第二脉冲激光束聚焦在腔体内诱导气体击穿产生等离子体冲击波，经过腔体内表面的反射增强冲击波强度，使得待清洗基体表面上的微纳米颗粒污染物在冲击波去除力的作用下从待清洗基板表面飞离。本发明提供了一种空间约束双束激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法，能有效提高基板表面清洗面积，提高清洗效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113198801 A (43)申请公布日 2021.08.03 (21)申请号 202110482134.1 (22)申请日 2021.04.30 (71)申请人浙江工业大学地址

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