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半导体工艺设备的检测装置.pdfVIP

半导体工艺设备的检测装置.pdf

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    本申请实施例提供了一种半导体工艺设备的检测装置。该检测装置用于对半导体工艺设备的卡盘的装配状态进行检测，包括：承载机构、第一检测机构及第一指针机构；承载机构能安装于卡盘上，且不跟随卡盘旋转；第一检测机构与承载机构枢转连接，且沿承载机构的径向延伸设置，承载机构安装于卡盘上时，第一检测机构始终与卡盘的上表面接触，且随上表面的起伏而转动；第一指针机构与第一检测机构连接，用于指示第一检测机构的转动量。本申请实施例可以大幅提高卡盘检测的精确性及工作效率，从而确保卡盘能够满足设计需求。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113218274 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110621566.6 (22)申请日 2021.06.03 (71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司

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