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一种基板搬运机器人和自动示教方法，本发明的基板搬运机器人(1)在机械手设置第1和第2传感器(20、30)，使得在俯视视角中射出的检测光的光轴的俯视交点(LC)位于由上述机械手(14)保持基板(S)的情况下的上述基板的规定位置上，控制装置(40)构成为：使臂(12)动作，通过上述第1和第2传感器扫描设置于示教位置的靶(52)，在上述靶位于上述光轴的俯视交点时取得上述示教位置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113228246 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 201980085025.7 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限
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