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本发明涉及一种用于气密性检测的气体充注回收装置及充注回收方法。气体充注回收装置包括预真空单元、充注单元、气体回收单元和尾气处理单元及主控电路,待检测工件的出气口和预真空单元的进气口相连,预真空单元的出气口经气体回收单元、充注单元和待检测工件的进气口相连,预真空单元、充注单元、气体回收单元各有一路和尾气处理单元相连。充注回收方法为:对工件预真空,充注单元将示踪气瓶中的气体充注给工件,对工件进行气密性检测,预真空单元抽出工件中的气体送给气体回收单元回收存储,经过处理达到要求的回收气体通过充注单元充注
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113203530 A
(43)申请公布日 2021.08.03
(21)申请号 202110489347.7
(22)申请日 2021.04.30
(71)申请人 杭州超钜科技有限公司
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