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提供了具有改进特性的压电氮化物化合物材料。压电材料包括铝、氮以及可以选自钙、钌、硼和/或钇的三元和四元掺杂剂。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113261124 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 201980083832.5 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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