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提供一种蒸镀材料，其能够形成可均匀地形成拒水拒油层的基底层，在制作多片带基底层的基材时，样品间的基底层的组成偏差受到抑制，所述拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成。一种蒸镀材料，其由包含氧化物的颗粒构成，所述氧化物包含硅、以及选自由元素周期表第1族元素、第2族元素、第13族元素、第15族元素和过渡金属元素组成的组中的至少1种元素I，粒径为0.5～22.4mm的颗粒的质量比例相对于全部颗粒总质量为90质量％以上。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113227441 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 201980086535.6 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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