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本发明的基板处理方法包含:干燥前处理液供给工序,其是将升华性物质溶解于溶剂中而成的溶液即干燥前处理液供给至形成有图案的基板的上表面,而在上述基板的上述上表面形成上述干燥前处理液的液膜;析出工序,其是通过使上述溶剂自上述液膜蒸发,而使上述升华性物质的固体在上述基板的上述上表面析出;浓度判定工序,其是在上述析出工序中上述升华性物质的固体析出之前,基于通过上述溶剂的蒸发而上述液膜的厚度减少的速度即膜厚减少速度,判定上述液膜中的上述升华性物质的浓度是否为基准浓度范围内;及升华工序,其是在上述浓度判定工序
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113228238 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 201980086789.8 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限
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