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本发明提供一种减轻加热处理后搬送的基板的污染的技术。基板处理装置(1)具有分度部(ID)及处理部(PU)。处理部(PU)具有流体处理部(30)、加热处理部(40)、梭式搬送机构(50)、第一搬送机器人(60)以及第二搬送机器人(70)。分度部(ID)将收纳于载体(C)的基板(W)供给至处理部(PU)。加热处理部(40)设置于分度部(ID)与流体处理部(30)之间。从分度部(ID)供给的基板(W)被梭式搬送机构(50)、第一搬送机器人(60)及第二搬送机器人(70)依次搬送至分度部(ID)、流体处
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113228239 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 201980086960.5 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限
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