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本发明涉及涉及一种钛酸铋钠基无铅压电薄膜及其制备方法，属于电子功能材料和器件领域。本发明提供的制备方法包括如下步骤：步骤1，将硝酸铋、乙酸钠、乙酸锶加入溶剂，搅拌得溶液A；步骤2，将乙酰丙酮、钛酸四丁酯、九水合硝酸铁、四水合乙酸锰溶于溶剂，搅拌、加热，得溶液B；步骤3，将溶液A与溶液B混合，预处理后得混合液C；以及步骤4，用旋涂法将混合液C涂覆在处理好的基片上，高温处理后，即得(0.72‑x)(Bi0.5Na0.5)TiO3‑0.28SrTiO3‑xBi(Fe0.95Mn0.03Ti0.02)O
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113213920 B
(45)授权公告日 2022.06.21
(21)申请号 202110631050.X 审查员 程琪林
(22)申请日 2021.06.07
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