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本发明一种通过原位离子共注入构筑高承载高结合低摩擦橡胶表面的方法，是以金属靶材和碳靶材作为离子共注入材料，采用真空电弧离子源，在橡胶表面原位共注入金属和碳元素作为承载层，然后注入碳元素，从而获得高承载低摩擦橡胶表面。本发明采用原位离子共注入技术，避免了橡胶表面沉积承载层存在的层间剥落的风险；注入时存在离子浓度的渐变，成功实现了橡胶软基底到硬质碳薄膜的机械硬度的自然过渡，避免了薄膜超高载下碎裂剥离的风险；后期只注入碳元素，使得碳薄膜与承载层实现了完美的晶格匹配，从而确保了薄膜的高结合强度。本发明工
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113201720 B
(45)授权公告日 2022.06.14
(21)申请号 202110538498.7 (56)对比文件
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