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2023-06-16 发布于四川
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提供磨削装置和磨削方法，即使对卡盘工作台局部地施加较大的磨削载荷也能够防止被加工物的厚度偏差恶化。磨削装置具有：卡盘工作台，其保持被加工物；板状的工作台基座，其支承卡盘工作台；磨削单元，其能够利用安装于主轴的一端部的磨削磨轮对被加工物进行磨削；载荷检测单元，其检测从磨削单元施加于工作台基座的载荷；倾斜调整单元，其支承工作台基座，能够调整工作台基座的倾斜；存储部，其存储施加于工作台基座的载荷与载荷所引起的工作台基座的倾斜变化量之间的相关关系；和控制部，其根据载荷检测单元所检测的载荷以及该相关关系对

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113211241 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110136792.5 (22)申请日 2021.02.01 (30)优先权数据

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