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2023-06-16 发布于四川
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一种碳复合材料生产用气相沉积系统及方法.pdf

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本发明公开了一种碳复合材料生产用气相沉积系统及方法，包括两端开口的腔体，其中一个开口为进气口，另外一个开口为出气口，所述腔体的内径从进气口至出气口的方向逐渐增大，所述腔体包括从内至外依次设置的石墨内层、石英层、石墨毡层和外防护层，所述石英层和石墨毡层之间设有加热层。该系统通过对腔体结构进行改进，具体为将传统的直筒式的腔体改进为从进气口至出气口的方向逐渐增大内径逐渐增大的腔体，利用伯努利原理减小气体流速，增大气体气压从而弥补“消耗”现象，使制备生成的外延层厚度更加均匀。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113235067 A (43)申请公布日 2021.08.10 (21)申请号 202110487758.2 (22)申请日 2021.04.28 (71)申请人嵊州市西格玛科技有限公司

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