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本发明提供一种三轴陀螺仪,其包括:第一驱动框架,其位于左侧,其能够沿Y轴进行上下方向的谐振运动;第二驱动框架,其位于右侧,其与第一驱动框架平行且间隔预定距离,其能够沿Y轴进行与第一驱动框架反向的谐振运动;连接于第一驱动框架和第二驱动框架之间的X/Y陀螺结构;连接于第一驱动框架和第二驱动框架外侧的Z陀螺结构;其中,X/Y陀螺结构与Z陀螺结构相互独立,X/Y陀螺结构和Z陀螺结构均是由所述第一驱动框架和第二驱动框架共同驱动。与现有技术相比,本发明中的三轴陀螺仪的X/Y陀螺结构和Z陀螺结构都是由同样的两
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113203404 A
(43)申请公布日 2021.08.03
(21)申请号 202110565176.1
(22)申请日 2021.05.24
(71)申请人 美新半导体(天津)有限公司
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