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本发明涉及一种磁性夹头。根据本发明实施例的磁性夹头包括:吸附橡胶,其具有从作为一面的对于半导体芯片的接触面贯通到另一面的多个单独孔;以及金属板,其具有从一面贯通到另一面而提供与各个单独孔连接的共同通道的共同孔,并且层压在吸附橡胶。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113241311 A
(43)申请公布日 2021.08.10
(21)申请号 202110086835.3 H01L 21/687 (2006.01)
(22)申请日
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