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本发明公开了一种空心阴极阵列放电射流装置，属于材料表面处理技术领域。包括空心阴极阵列电极放电发生装置和辉光射流发生装置；辉光射流发生装置包括高压供气腔，低压工作腔，负压产生装置和辉光射流区控制装置；高压供气腔设有可调气阻和电极阴极侧连接口，电极阴极侧连接口与空心阴极阵列电极的电极底衬的外壁密封连接；低压工作腔设有电极阳极侧连接口和进料口密封门；低压工作腔通过负压管与负压产生装置连接，以用于在低压工作腔内产生负压；电极阳极侧连接口与空心阴极阵列电极的电极底衬的外壁密封连接；辉光射流区控制装置使高压
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113198404 B
(45)授权公告日 2022.07.22
(21)申请号 202110614563.X (56)对比文件
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