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一种压差型在线微量气体流量计及自动检测方法,该流量计包括从气源入口分为两条交替运行的压差测量支路,两条压差测量支路上设置有依次连接的气源入口阀、测量腔和测量腔出口阀,测量腔上均设置有温度传感器和压力传感器;本发明运用压差监测技术,采用两条支路交替运行切换测量状态,既能缓冲气源入口的大幅波动,也能保证高精度的连续实时监测流量;测量腔的体积根据流量的测量量程制定,适用于测定微小流量气体,通过压力传感器和温度传感器计算理论流量值,测量准确、可靠;对测量气体的纯净度要求低,允许测量气体中含油、含水或含尘
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113203443 A
(43)申请公布日 2021.08.03
(21)申请号 202110461690.0
(22)申请日 2021.04.27
(71)申请人 西安热工研究院有限公司
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