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一种从半导体显影废水中回收四甲基氯化铵的方法.pdfVIP

一种从半导体显影废水中回收四甲基氯化铵的方法.pdf

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    本发明属于废水资源综合利用技术领域，具体涉及一种从半导体显影废水中回收四甲基氯化铵的方法。该方法首先是将四甲基氯化铵废水过滤后加入减压蒸馏装置中进行蒸发结晶；然后，将清洗剂乙酸乙酯加入蒸发结晶后的蒸发釜内进行第一次清洗、抽滤；再对第一次清洗所得到的晶体用乙酸乙酯进行第二次清洗、抽滤；最后将第二次清洗得到的晶体置于真空干燥箱内干燥，干燥后得到白色四甲基氯化铵晶体；本发明针对四甲基氯化铵废水蒸发结晶出的晶体呈淡黄色的问题，选用合适的清洗剂，得到白色的四甲基氯化铵晶体，实现了废水资源的综合利用。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113200869 A (43)申请公布日 2021.08.03 (21)申请号 202110464087.8 (22)申请日 2021.04.28 (71)申请人 南京

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