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本发明公开了一种微型透镜集成微型光路反射镜的一体化组件及其制作方法。所述一体化组件包括：光学元件主体，所述光学元件主体具有入光面、反射镜面和透镜面，自入光面入射的入射光束能够经所述反射镜面反射至透镜面，经所述透镜面汇聚后射出。本发明实施例提供的一种微型透镜集成微型光路反射镜的一体化组件，将两个分立光学元件集成设置为一体，从而减少了元件数量，使一体化组件的体积更小，更容易实现贴装和对准，同时还降低生成材料和工艺成本；本发明实施例提供的一种微型透镜集成微型光路反射镜的一体化组件的制作工艺均在晶圆级完
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113267838 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110535194.5
(22)申请日 2021.05.17
(71)申请人 苏州苏纳光电有限公司
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