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本发明提供了一种光纤尖式光声气体传感系统及方法,属于光学微量气体检测技术领域。该气体传感系统包括窄线宽激光光源、宽谱探测光源、波分复用器、光环形器、光谱仪、计算机、单模光纤、光纤尖式光声传感探头。窄线宽激光和宽谱探测光经波分复用器耦合并经单根光纤同时传输到光纤尖式光声传感探头,采用一个公用气腔同时作为光声气体吸收池和法布里‑珀罗干涉腔;待测气体通过悬臂梁缝隙自由扩散进入微型气室,利用声波敏感的悬臂梁膜片探测产生的光声信号。本发明方案具有探头体积小、响应速度快、结构简单、本质安全、灵敏度高等优点,
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113252572 B
(45)授权公告日 2022.05.13
(21)申请号 202110504475.4 G01N 21/45 (2006.01)
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