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本发明公开了一种飞秒干涉散射显微成像系统及测量方法，属于超快光学成像技术领域。本发明结合了超快光谱技术和干涉散射显微成像技术，不仅具备飞秒级时间分辨率和纳米级三维空间分辨率，而且利用部分反射空间滤波器调制干涉光场，显著提高了瞬态信号强度，有利于测量极微弱的瞬态信号，进而实现对样品的载流子弛豫和迁移动力学的测量。相比于传统超快成像技术，本发明具有速度快、高通量、大视野、兼容性好、不需要锁相和多像素同时测量等优势。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113251916 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202110510123.X (56)对比文件
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